MKS臭氧發(fā)生器AX8415、AX8410和AX8400區(qū)別

ALD和ALE工藝是要求臭氧技術(shù)持續(xù)進(jìn)步的主要應(yīng)用。如上所述，同時(shí)滿足應(yīng)用流程和濃度要求以及OEM的系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求是臭氧發(fā)生器和系統(tǒng)技術(shù)開(kāi)發(fā)的驅(qū)動(dòng)力。MKS的臭氧發(fā)生器和集成系統(tǒng)產(chǎn)品組合在推進(jìn)臭氧技術(shù)以滿足這些要求方面有著悠久的歷史。所有MKS臭氧發(fā)生器均采用介質(zhì)阻擋放電法生產(chǎn)臭氧。隨著時(shí)間的推移，放電池結(jié)構(gòu)的進(jìn)步提高了臭氧濃度，同時(shí)擴(kuò)大了臭氧生產(chǎn)的范圍，并確保其先進(jìn)性。

圖1顯示了MKS臭氧發(fā)生器技術(shù)基于臭氧產(chǎn)量的進(jìn)步穩(wěn)步增加。例如，MKS Instruments AX8400系列臭氧發(fā)生器是一種高度可配置的發(fā)生器，可滿足高達(dá)250克/小時(shí)的要求。MKS的AX8415和AX8410發(fā)電機(jī)的目標(biāo)應(yīng)用是在緊湊的外形中要求高濃度和高流動(dòng)狀態(tài)。AX8415和AX8410旨在生產(chǎn)超清潔、高濃度的臭氧。MKS在AX8415和AX8410型號(hào)中引入的臭氧電池設(shè)計(jì)能夠支持濃度高達(dá)425 g/Nm3（27.1 wt%）的臭氧輸送，流速高達(dá)80 slm。

客戶需要不斷優(yōu)化其安裝基座的壽命，因此，更新的發(fā)電機(jī)設(shè)計(jì)可以方便地與AX8415發(fā)電機(jī)集成，這是MKS設(shè)計(jì)的臭氧系統(tǒng)中SEMOZON?AX8407發(fā)電機(jī)的直接替代品。MKS Instruments設(shè)計(jì)的產(chǎn)品滿足設(shè)備制造商的臭氧輸送應(yīng)用要求，提供完全集成的臭氧輸送系統(tǒng)，包括單個(gè)或多個(gè)發(fā)生器，具有集成的臭氧監(jiān)測(cè)和安全裝置以及可選的臭氧銷(xiāo)毀裝置。這些系統(tǒng)是使用專(zhuān)有和適應(yīng)性材料設(shè)計(jì)的，以滿足半導(dǎo)體環(huán)境和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。例如，氧化膜工藝可能需要三個(gè)或四個(gè)獨(dú)立發(fā)生器的臭氧系統(tǒng)配置，以5至10slm將250g/Nm3的臭氧輸送到三室或四室ALD工具。

另一個(gè)例子是25至50片的垂直間歇式反應(yīng)器，其可能需要180至200g/Nm3的70至100slm的臭氧。用于批量ALD應(yīng)用的臭氧系統(tǒng)需要具有單個(gè)輸出或一個(gè)通道的多發(fā)生器臭氧系統(tǒng)的支持。系統(tǒng)中的每個(gè)額外的發(fā)生器都擴(kuò)展了給定濃度的流量范圍。例如，單個(gè)AX8415發(fā)生器在15slm下產(chǎn)生300g/Nm3的臭氧濃度。另一臺(tái)發(fā)電機(jī)的加入使系統(tǒng)的輸出在30slm時(shí)提高到300g/Nm3。因此，四發(fā)生器單通道系統(tǒng)能夠在60 slm下達(dá)到300 g/Nm3。通過(guò)增加發(fā)電機(jī)，臭氧濃度保持不變；然而，產(chǎn)生的臭氧總量顯著增加。MKS為所有生產(chǎn)ALP設(shè)備的原始設(shè)備制造商提供臭氧輸送系統(tǒng)。MKS臭氧輸送系統(tǒng)與立式爐、空間ALD工具和腔室沉積系統(tǒng)一起使用。每個(gè)臭氧輸送系統(tǒng)都有其特定的應(yīng)用要求，與主要工藝工具的要求相一致，以確保很終用戶能夠沉積很高質(zhì)量的薄膜或去除特定的原子層。